【摘 要】
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目前制备类金刚石涂层的方法主要是等离子辅助化学气相沉积(PECVD)及物理气相沉积(PVD)两大类,前者制备的DLC涂层通常含氢,后者可以获得无氢的涂层.在DLC涂层的使用中,表面光洁度、摩擦系数、导热率、导电率(电阻率)等是必须关注的基本性能.这些性能与制备方法密切相关,更与涂层的组织结构密切相关.本文较系统地研究比较了采用PECVD方法及PVD制备获得的DLC的上述基本性能,可以作为在应用DL
【机 构】
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华南理工大学材料科学与工程学院,广东广州510641;广州今泰科技股份有限公司,广东广州 510000
【出 处】
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2015广东材料发展论坛——新材料与先进制造大会
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目前制备类金刚石涂层的方法主要是等离子辅助化学气相沉积(PECVD)及物理气相沉积(PVD)两大类,前者制备的DLC涂层通常含氢,后者可以获得无氢的涂层.在DLC涂层的使用中,表面光洁度、摩擦系数、导热率、导电率(电阻率)等是必须关注的基本性能.这些性能与制备方法密切相关,更与涂层的组织结构密切相关.本文较系统地研究比较了采用PECVD方法及PVD制备获得的DLC的上述基本性能,可以作为在应用DLC涂层时选择适当涂层制备方法的有益参考.
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