【摘 要】
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本文用有限元方法模拟了纳米级光掩膜(铬膜石英基)在激光产生的等离子体激波除尘时的瞬态响应。激波的压力和速度通过实验拟合得到。在模拟中激波的作用描述为有限元模型的压
【机 构】
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重庆交通大学土木建筑学院; 中国科学院深圳先进技术研究院产品与工程仿真实验室;
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本文用有限元方法模拟了纳米级光掩膜(铬膜石英基)在激光产生的等离子体激波除尘时的瞬态响应。激波的压力和速度通过实验拟合得到。在模拟中激波的作用描述为有限元模型的压力与温度边界条件,而激波的传播则根据其速度表现为对离散的膜表面的连续激励。模拟结果表明膜的径向和环向应力主要由铬膜的热膨胀引起,据此改进了实验手段。
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