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应用PDHID色谱仪检测超高纯氨(7N)的方法研究
应用PDHID色谱仪检测超高纯氨(7N)的方法研究
来源 :全国特种气体第十六次年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aspl12315
【摘 要】
:
应用PDHID气相色谱仪的后切割背景气放空的气路流程,采取背景扣除、基线扣除等手段,排除空气微渗透的影响,以外标法检测超高纯产品氨(7N)中10ppb量级的H2、O2、N2、CO和CO2等杂质气体的方法进行了实验研究。
【作 者】
:
ZHANG Fukang
章复康
CHEN Hexiang
陈荷香
ZHANG Tianlong
张天龙
WANG Hai
王海
WANG Lei
王磊
HUANG Junpin
黄军聘
ZHU Weili
朱威莉
【机 构】
:
Shanghai Kechuang Chromatograph Instruments Co.,Ltd.,Shanghai 201821,China
【出 处】
:
全国特种气体第十六次年会
【发表日期】
:
2012年5期
【关键词】
:
超高纯氨气
杂质含量
检测技术
PDHID气相色谱仪
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应用PDHID气相色谱仪的后切割背景气放空的气路流程,采取背景扣除、基线扣除等手段,排除空气微渗透的影响,以外标法检测超高纯产品氨(7N)中10ppb量级的H2、O2、N2、CO和CO2等杂质气体的方法进行了实验研究。
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