【摘 要】
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聚二甲基硅氧烷(PDMS)气动微型泵由3个PDMS气动微阀构成,依靠3个微阀的蠕动作用实现输运液体的作用。PDMS气动微泵的关键制作工艺是液体通道的弧形化和PDMS层之间、PDMS层与
【机 构】
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沈阳工业大学信息学院,辽宁沈阳,110023
【出 处】
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第11届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
聚二甲基硅氧烷(PDMS)气动微型泵由3个PDMS气动微阀构成,依靠3个微阀的蠕动作用实现输运液体的作用。PDMS气动微泵的关键制作工艺是液体通道的弧形化和PDMS层之间、PDMS层与玻璃基片之间的封接。实验证明AZ4620正性光刻胶所制作的阳模能形成剖面形状呈弧形的液体通道。采用等离子体氧化处理法封接技术实现了PDMS层之间、PDMS层与玻璃基片之间的封接,该工艺易操作,封接速度快,而且封接效果好。
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