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离子轰击负偏压的金属表面会产生二次电子，可在表面附近形成虚阴极结构。离子能量是决定二次电子数量及虚阴极结构的重要因素，对其诊断有重要意义。通常用离子能量分析仪诊断等离子体中的离子能量，但分析仪内部的二次电子发射会影响诊断结果，因此需要对其校准。
离子能量分析仪的校准及在虚阴极鞘层诊断中的应用
【摘 要】
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离子轰击负偏压的金属表面会产生二次电子，可在表面附近形成虚阴极结构。离子能量是决定二次电子数量及虚阴极结构的重要因素，对其诊断有重要意义。通常用离子能量分析仪诊
【机 构】
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中国科学技术大学近代物理系,中国科学院近地空间环境重点实验室安徽,合肥,230026
【出 处】
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中国物理学会2013年秋季学术会议
【发表日期】
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2013年期
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