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探讨了MEMS梳齿电容式加速度计的加工工艺条件和版图设计规则,根据实际加工的样片,归纳了由于不合理的工艺和版图细节而产生的包括结构断裂、表面粘附、键合分层失效造成的"糊金"等失效现象,并对其进行机理研究和优化设计.通过合理规划工艺条件和版图布局,改进的结构经实验验证,有效避免了上述失效问题.
梳齿式微硅加速度计的结构失效及设计改进
【摘 要】
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探讨了MEMS梳齿电容式加速度计的加工工艺条件和版图设计规则,根据实际加工的样片,归纳了由于不合理的工艺和版图细节而产生的包括结构断裂、表面粘附、键合分层失效造成的"
【机 构】
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清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084
【出 处】
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中国航空学会控制与应用第十二届学术年会
【发表日期】
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2006年期
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