【摘 要】
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维间耦合抑制是多维力传感器设计的核心问题。滑移结构中的间隙和不对称滑槽会使弹性体在滑移时与滑槽侧壁发生接触，使得弹性体的受力条件发生变化，引起维间耦合。本文分析
【机 构】
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上海交通大学仪器科学与工程系 上海 200240
【出 处】
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第十二届全国敏感元件与传感器学术会议
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维间耦合抑制是多维力传感器设计的核心问题。滑移结构中的间隙和不对称滑槽会使弹性体在滑移时与滑槽侧壁发生接触，使得弹性体的受力条件发生变化，引起维间耦合。本文分析了基于滑移结构的六维力传感器的解耦特性，通过有限元的方法验证解耦效果，分析了当弹性体与滑槽侧壁存在角度接触时产生的维间耦合，并抽象该接触模式下的弹性体为超静定结构进行力学分析，分析结果表明维间耦合误差随接触角度的增大而增加。
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