【摘 要】
:
Advanced MEMS have been developed by heterogeneous integration.PZT MEMS switches,AIN FBAR,LN (Lithium Nitride) SAW devices are fabricated on on CMOS LSI by
【机 构】
:
TheWorldPremierInternationalResearchCenterAdvancedInstituteforMaterialsResearch(WPI-AIMR),andconcurr
【出 处】
:
第七届微米纳米技术创新与产业化国际论坛(The 7th International Workshop on Innova
论文部分内容阅读
Advanced MEMS have been developed by heterogeneous integration.PZT MEMS switches,AIN FBAR,LN (Lithium Nitride) SAW devices are fabricated on on CMOS LSI by adhesive bonding or selective transfer.These methods are applied to tactile sensors for network and active matrix electron sources for massive parallel EB exposure systems.Open collaborations to share the facility and so on are discussed.
其他文献
简单生活有许多种。白领的简单生活并不是刻意营造的,李先生夫妇的速食生活算不算简单生活呢? “清晨,坐在透明的落地窗前,窗前阳光明媚,屋里香气四溢,餐桌上摆放着刚做好的
李娜,1984年5月,出生于安徽省合肥市。1989年进入合肥市业余体校从事技巧训练,1993年进入北京跳水队从事跳水训练,1998年入选国家跳水队至今。曾获:1998年世界杯大奖赛女子10
人民教育最近发表了题为‘广泛宣传用革命的办法破好人民教育’的社论。学习这篇文章对于纠正我们在工作上的若干错误思想,对于帮助我们深刻领会毛主席教育思想的精神实质,
随着经济的快速发展,各国间的文化交流也逐渐增多,英语作为世界通用语言,在各方面的运用都十分频繁,这也使得英文翻译的作用越来越明显。英文翻译需要对两国语言的表达技巧和
他的歌声高亢明亮、雄健激昂,穿越时空,在蓝天白云间飘荡;他的歌声质朴真诚、如泣如诉,带着黑土地宽阔富饶一成不变的柔情。——这是二炮文工团青年歌唱家、国家一级演员赵
在小朋友的眼里,央视少儿节目《大风车》里的“金龟子”始终是一位快乐的主持人。她那充满童趣的节目,让孩子们在潜移默化中获得丰富的知识,拥有了创新的思维。因而,她一直深
Electronic paper display (EPD) based on electrophoretic principle requires ultra-low power and has superior optical contrast in direct sunlight.Since its su
我分局开展矽肺普查是从一九七二年开始的,截至一九七七年十二月止,普、复查六次,共普查1979名从事粉尘作业的工人,查出各期矽肺患者26例,占受检人数1.31%,观察对象78例,占受
天津紡織各厂業餘学校、自本學期起,增添了课前的十分钟讀報,以加強学校學習的時事政治知識。在讀報工作進行中,有這樣的情况:有的業校干部们对讀報的認識不够,不重視。有的