【摘 要】
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文章介绍了硅微电容式加速度传感器的工作原理,设计了一种变极距电容低频矢量水听器,通过将加速度敏感结构做成差动式电容、采用对称四臂折叠悬梁弹性结构等优化技术,提高了传感器的加速度灵敏度,同时减小了体积并降低了自噪声.用ANSYS有限元软件对四臂折叠梁硅微电容加速度传感器的弹性敏感元件进行了建模分析研制了三维低频组合矢量水听器样品,声性能测试效果良好.
【机 构】
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中国船舶重工集团公司第七一五研究所 声纳技术国防科技重点实验室,杭州 310012 中电科技集团4
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文章介绍了硅微电容式加速度传感器的工作原理,设计了一种变极距电容低频矢量水听器,通过将加速度敏感结构做成差动式电容、采用对称四臂折叠悬梁弹性结构等优化技术,提高了传感器的加速度灵敏度,同时减小了体积并降低了自噪声.用ANSYS有限元软件对四臂折叠梁硅微电容加速度传感器的弹性敏感元件进行了建模分析研制了三维低频组合矢量水听器样品,声性能测试效果良好.
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