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化学气相沉积用于可规模化钙钛矿太阳能电池的制备,具有极好的应用前景[1]。对于大面积,均匀且高质量的钙钛矿沉积,我们开发了行业兼容的化学气相沉积技术,以沉积高质量的MAPbI3,FAPbI3和CsxFA1-xPbI3等薄膜用于太阳能电池/模组[2-5]。然而,常规化学气相沉积工艺需要数小时的生长成膜时间,极大增加了其成本。在这项工作中,通过快速红外定向加热模式,高质量钙钛矿薄膜生长时间可缩短至10分钟。通过进一步优化快速化学气相沉积工艺和电子传输层SnO2的质量,制备了具有高几何填充因子的可规模化钙钛矿太阳能电池模组[6-8]。通过优化的SnO2和CsxFA1-xPbI3之间的界面结构,5 cm×5cm的太阳能电池模组的效率达12.3%,几何填充因子大于90%。在连续光照最大功率点工作800小时后效率依然保持初始效率90%,表现出了很好的稳定性[8]。