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本文综述了氧化物/银/氧化物/玻璃结构的Low-E纳米功能膜层湿分解机理,所用分析的氧化物、金属薄膜由真空磁控溅射法生产得到,氧化物为金属Ag或掺Pd的Ag,氧化物为ZnO、SnO2或掺铝氧化锌和氧化锡硅(锡硅各50%),以及基材(玻璃)温度从室温25度到300度,工作气压从50mPa到1000mPa之间变化对所形成的氧化物薄膜对整个功能薄膜材料各项性能的影响.