VLSI中金属化晶粒结构与工艺之间的相关性研究

来源 :第八届全国可靠性物理学术讨论会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:peterwei2009
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文阐述了目前VLSI金属化可靠性评价的主要手段;详细探讨了金属晶粒特征的表征参数,对这些参数进行了定量分析;并对各晶粒特征参数与金属溅射工艺的相关性进行了研究。试图通过对金属晶粒特征的定量分析及晶料特征与工艺相关性的研究,找出金属化可靠性在线评价办法和影响金属可靠性的关键工艺条件参数,为实现对VLSI金属化可靠性的“事前控制”和“事前预防”奠定了基础。
其他文献
该文提出了一种以VI (Virtual Instruments)技术为核心的循环码形成器的设计方案,论述了虚拟面板和32位顺序循环码形成器的设计与软硬件实现,经试验表明方案可行。
仇素莲,以画大海闻名的山水画家金林观先生的得意弟子曾被村前的老枫树、村口的老祠堂、村南的大寺院所吸引.她暗下决心要画一组古村风景.之后她一次、二次、三次地去实地观
期刊
该文论述了研制新型文档自动管理系统的原因及其重要性。给出了系统的软件的结构和文档自动管理系统的部分设计界面。重点介绍了大文本的读写,MicrosoftWord的控制,Word的感知,套打,数据库的连接等
该文利用VISUAL BASIC语言进行程序设计,实现对孟德尔定律的计算机模拟,使抽象的遗传过程变为具体、可视,从而为遗传学的教学、科研与微机开发应用作有益的探索。
会议
怪、天、奇,是从司马迁的《留侯世家》对张良的评价中,简而化之的三个字,可概括其一生的行迹.rn奇,一方面讲的是他的形象,状貌如妇人好女,这恰好为他锋芒尽收提供了外在的条
期刊
季恒泉,沪上著名书法家,自幼就酷爱笔墨.1972年,在沪东工人文化宫书法班迈入翰墨天地.2004年开始,季恒泉频繁地参加国内一系列的书法展,书体以行楷为主,尤胜楷书,内容以古今
期刊
在VLSI测试中,由于用户引辅助硬件产生的误差问题一直是阻碍测试精度和可靠性的关键问题。该文以ITS9000MX为背景,介绍在VLSI测试中,对辅助硬件造成的误差的一种解除方法。在现有条件下,实现简单、
该文介绍了基于BP算法的神经元网络和变解码因子的遗传算法在Transputer并行加速系统上的仿真实现,结果表明并行计算是很有效和很有前途的方法。并且还介绍了清华计算机系研制成的以TMS320 C40 DSP做结