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采用近共振激光驻波场汇聚铬原子沉积技术可以制作以半波长为周期的纳米光栅.给出了单层激光驻波场的纳米光栅的实验结果,所得样品周期为,高度为4nm,半高宽为.为了进一步减小半高宽,基于优化后的粒子光学模型,数值分析了双层激光驻波场的汇聚沉积特性.模拟结果表明,采用双层驻波场能有效地减小球差.当双层激光驻波场功率分别选取6mW以及14mW 时,聚焦平面处条纹半高宽为18.2nm,高度为12.6nm.当发散角半高宽为0.5mrad时依然有清晰的条纹出现.