薄膜介面探测器为一现地直压式即时侦测工具，可同步侦测地下环境中之挥发性有机化合物质以及导电度之空间分布，已被广泛应用于挥发性有机化合物污染土壤地下水之场址调查。在污染调查方面，常见与薄膜介面探测器连结之挥发性有机物侦测器包含光离了化侦测器、火焰离子化侦测器及电子捕捉侦测器，这些侦测器与薄膜介面探测器连结后可进行场址污染物探测，虽可快速获取数种挥发性有机物之总和反应数值，但未经质谱仪等检测仪器定性/定量分析，尚无法转换成单一物种污染浓度资料，故侦测结果往往遭受质疑。本研究以薄膜介面探测器搭配电子捕集侦测器，於受氯乙烯类物质污染之地下水场址。现地即时侦测及离地实验室量测两种方式，探讨污染侦测系统之再现性及代表性.研究发现薄膜介面探测器搭配电子捕集侦测器对场址主要污染物-三氯乙烯之反应最为敏感，不论在单纯的实验室条件或复杂的现场条件下，侦测值与传统检测结果之相关系数平方值(R-squared)均可连0.90以上，且浓度越高反应敏感度也越高，颠示高污染埸址侦测结果之准确性越高。另由现地重覆测定显示，薄膜介面探测器搭配电子捕集侦测器之量测品质具有高度稳定性及冉现性。