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为了实现高精度球形转子的平衡测量,本文讨论了半球电极支承下静电悬浮装置的实现.基于半球支承下的转子位移测量原理,提出了高精度转子位移测量方案.同时在静电支承装置中采用数字控制方法,可以实现复杂的控制算法,控制器参数调节方便.最后给出了静电加力回路设计和数字控制器的软件编程。
半球静电支承的数字控制
【摘 要】
：
为了实现高精度球形转子的平衡测量,本文讨论了半球电极支承下静电悬浮装置的实现.基于半球支承下的转子位移测量原理,提出了高精度转子位移测量方案.同时在静电支承装置
【机 构】
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清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084
【出 处】
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2005中国控制与决策学术年会
【发表日期】
：
2005年期
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