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本文应用XRD和SEM分析手段,对金刚石膜的晶体结构以及断面和生长面晶粒形貌特征进行了研究分析,探讨了晶体结构对金刚石膜的断裂强度的影响.研究结果表明,晶体取向的多样化对金刚石膜断裂强度有利;粗糙表面的晶粒间易产生V形口,导致应力集中,降低了膜的断裂强度。
晶体结构对金刚石膜断裂强度的影响
【摘 要】
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本文应用XRD和SEM分析手段,对金刚石膜的晶体结构以及断面和生长面晶粒形貌特征进行了研究分析,探讨了晶体结构对金刚石膜的断裂强度的影响.研究结果表明,晶体取向的多样化对
【机 构】
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北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083
【出 处】
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2006北京国际材料周暨中国材料研讨会
【发表日期】
：
2006年期
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