论文部分内容阅读
本文采用计算流体力学(CFD)方法对用于制备化合物半导体材料和器件的重要手段—MOCVD(金属有机物化学汽相沉积)的反应室流场进行了数值仿真.模拟采用基于非交错网格系统的SIMPLE算法,有限体积离散,并利用改进的压力—速度耦合方法进行求解.给出了在具有复杂几何结构和运动方式的行星式MOCVD反应室中的流场结构的仿真结果,并研究了改变几何尺寸和运行参数对流场结构的影响.对正在试制开发中的MOCVD设备的几何结构的改进和运行参数的优化提出了指导性建议.