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研究了在直流电弧等离子体喷射化学气相沉积金刚石膜的方法中，工作气压、基片温度和甲烷浓度对金刚石薄膜生长速率和质量的影响，在优化工艺的条件下，以７￣１０μｍ／ｈ的速率制备出了白色（透明）自支撑金刚石厚膜。
直流电弧等离子体喷射化学气相沉积金刚石膜的工艺优化
【摘 要】
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研究了在直流电弧等离子体喷射化学气相沉积金刚石膜的方法中，工作气压、基片温度和甲烷浓度对金刚石薄膜生长速率和质量的影响，在优化工艺的条件下，以７￣１０μｍ／ｈ的速率制备出了白色（透明
【机 构】
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科技大学材料科学与工程学院材料系表面技术室
【出 处】
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1998年中国材料研讨会
【发表日期】
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1998年期
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