【摘 要】
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设计了一种新型的共平面微结构气体传感器,基于有限元分析软件Ansys对该传感器结构进行了优化设计,并利用MEMS技术制作了传感器样品.实验测得该传感器对于50ppm浓度CO气
【机 构】
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吉林大学电子科学与工程学院,长春130012
【出 处】
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2007两岸三地博士生NBIC学术论坛
论文部分内容阅读
设计了一种新型的共平面微结构气体传感器,基于有限元分析软件Ansys对该传感器结构进行了优化设计,并利用MEMS技术制作了传感器样品.实验测得该传感器对于50ppm浓度CO气体的灵敏度为8.6(R0/R),功耗为82mW,响应时间约5s,恢复时间约22s,该传感器的灵敏度是同种敏感材料烧结型传感器(测50ppmco)的2.5倍,而功耗却是同种敏感材料烧结型传感器的1/2,是一种具备了体积小、重量轻、功耗低、灵敏度高、便于与其它器件集成等特点,而且制作工艺简单,成本较低的微结构CO气体传感器.
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