利用激光干涉仪对机床定位精度的快速检测

来源 :红外与激光工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sist_003
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简要介绍了双频激光干涉仪的组成和工作原理,并介绍了一种快速调整激光干涉仪准直的方法以及检测机床定位精度时的注意事项。 The composition and working principle of the dual-frequency laser interferometer are briefly introduced. A method of quickly adjusting the collimation of the laser interferometer and the precautions of detecting the positioning accuracy of the laser are introduced.
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