微压及微差压的精密测量与计量

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传统的斜管水压计,补偿式微压计已越来越不适应微压测试与计量技术发展的要求。作者用微机械加工技术及最新的应力集中设计地交接计量的开发出量程1kPa的压阻式高精度微差压传感器,并进而开发出高精度数字微压计。这种高精度微差压传感器已在风洞、潜艇、无人机、医疗设备等许多重要应用中获得成功,数字式微压计已在煤矿风表计检中成功应用。
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