【摘 要】
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本文采用离子注入技术制备了不同掺Zn剂量的铌酸锂样品,采用XPS以及TEM技术对样品进行表征,研究了Zn离子注入对LiNbO3晶体在红外波段特性的影响.实验结果显示Zn离子已成功地
【机 构】
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深圳市激光工程重点实验室,深圳大学电子科学与技术学院,广东深圳518060
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本文采用离子注入技术制备了不同掺Zn剂量的铌酸锂样品,采用XPS以及TEM技术对样品进行表征,研究了Zn离子注入对LiNbO3晶体在红外波段特性的影响.实验结果显示Zn离子已成功地注入到LiNbO3晶体中,且注入深度约为80nm.纯LiNbO3晶体在3486cm-1、2851cm-1和2917cm-1处分别出现主次吸收峰,三种掺杂Zn离子浓度的样品主吸收峰位置均在3483cm-1,吸收峰的位置发生微小的红移,次吸收峰的位置基本保持不变.Zn离子注入使x-切向LiNbO3晶体的透射率增大,z-切向LiNbO3晶体的透射率降低.
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