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本文介绍了有限元仿真工具ANSYS在硅微加速度计性能仿真中的应用,并利用ANSYS提供的优化工具,对加速度计结构进行了优化设计.得到了满意的结果.
硅微加速度计的性能仿真和优化设计
【摘 要】
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本文介绍了有限元仿真工具ANSYS在硅微加速度计性能仿真中的应用,并利用ANSYS提供的优化工具,对加速度计结构进行了优化设计.得到了满意的结果.
【机 构】
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北京大学微电子所
【出 处】
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第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议
【发表日期】
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2001年期
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