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Synthesis and Characterization of Zirconium Oxynitride Coatings Deposited by Filtered Cathodic Vacuu
【机 构】
:
Key Laboratory of Beam Technology and Material Modification of Ministry of Education,College of Nucl
【出 处】
:
The 8th Asian-European International Conference on Plasma Su
【发表日期】
:
2011年期
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