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O<'+>注入在光电器件中的应用
【机 构】
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光电子工艺中心,国家集成光电子联合实验室中国科学院半导体研究所
【出 处】
：
第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会
【发表日期】
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1997年期
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