一种基于驻波模式的新型声表面波陀螺仪

来源 :中国声学学会2009年青年学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zkteacher
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声表面波(SAW)陀螺仪具有很强的抗振动能力、高可靠性、低成本以及高灵敏度等特点,在运动制动、电子产品以及军用制导系统等方面显示出广阔的应用前景。本文提出了一种新型驻波模式的声表面波陀螺仪,包含平行设置的三个两端SAW谐振器,其中一个谐振器作为陀螺仪的稳定参考源,并在驻波反节点位置分布有金属点阵,并通过旋转产生Coriolis力,并激发垂直于旋转方向的二次SAW;另外两个谐振器作为振荡器反馈元,一路谐振器(SAWS)基于相干效应用于检测二次SAW,另外一路谐振器(SAWF)则用于参考振荡器以此降低外围影响因素的影响。耦合模(COM)理沦用于对SAW器件频率响应的优化模拟,提取优化的SAW谐振器设计参数。所研制的三个基于128°YX LiNbO3压电基片的80MHz低损耗SAW谐振器用于构建新型陀螺仪。利用旋转台,对所研制的陀螺仪在角速率测试范围之内(0-1000deg/s)表现出高灵敏度以及良好的线性特点。
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