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聚环戊二烯薄膜的制备及其C-V特性
聚环戊二烯薄膜的制备及其C-V特性
来源 :第三届中国功能材料及其应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hanmark
【摘 要】
:
该文首次报导了采用等离子体增强化学汽相淀积技术,以环戊二烯为源合成了聚环戊二烯薄膜,讨论了薄腹的生长系统和淀和条件对生长速率的影响,在薄膜表面蒸发金形成Au/Polymer/P-Si
【作 者】
:
戴国瑞
孙颖
南金
王宗昌
张英兰
【机 构】
:
大学电子工程系(长春)
【出 处】
:
第三届中国功能材料及其应用学术会议
【发表日期】
:
1998年期
【关键词】
:
环戊二烯
膜的制备
薄膜
生长系统
生长速率
淀积技术
电荷密度
等离子体
表面蒸发
强化学
特性
结构
合成
估算
常温
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该文首次报导了采用等离子体增强化学汽相淀积技术,以环戊二烯为源合成了聚环戊二烯薄膜,讨论了薄腹的生长系统和淀和条件对生长速率的影响,在薄膜表面蒸发金形成Au/Polymer/P-Si结构,测出常温下的C-V特性,估算出薄膜的固定电荷密度。
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