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采用贝克法测量原理,分别对阴极预处理工序的升温阶段、高温维持阶段和暴露大气次数等因素进行蒸发速率影响的研究,得出预处理过程中蒸发速率的变化规律;并对漏电指标要求高的某品种阴极进行预处理工艺的优化,从而提高了装管性能指标的良品率.
预处理工艺对阴极蒸发速率影响的研究
【摘 要】
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采用贝克法测量原理,分别对阴极预处理工序的升温阶段、高温维持阶段和暴露大气次数等因素进行蒸发速率影响的研究,得出预处理过程中蒸发速率的变化规律;并对漏电指标要求高
【机 构】
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南京三乐集团有限公司 南京211800
【出 处】
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中国电子学会真空电子学分会第二十届学术年会
【发表日期】
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2016年期
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