真空弧离子源的阴极斑特性

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本文研究了吸氢式真空弧离子源脉冲工作瞬间的阴极斑特性.采用高速摄影的方法拍摄了离子源放电瞬间阴极斑的形成过程,阴极斑的亮度变化与同时测量的放电电流的变化基本一致;采用发射光谱诊断的手段分析了不同阴极斑放电电流对离子源工作特性的影响,并提出了提高真空弧离子源束流品质的改进方法.
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