GaN/GaAs异质结构中大密度面缺陷的分析

来源 :第六届全国固体薄膜学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tjn000800
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运用高分辨透射电子显微镜分析GaN/GaAs异质微观结构。观察到立方相外延层GaN中存在看大量的、不对称的面缺陷(层错和微孪晶)。并对其生成的原因进行了讨论
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