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会议论文
光罩护膜
光罩护膜
来源 :2010中国平板显示学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qiuzy
【摘 要】
:
本论文对光罩护膜(Pellicle)的用途、材质、制备方法、制作过程中的一些基本要求以及现今光罩护膜的生产动态进行了简要的综述。
【作 者】
:
沈玉芳
于洁
郭文勇
【机 构】
:
湖北省化学研究院,武汉市,430074
【出 处】
:
2010中国平板显示学术会议
【发表日期】
:
2010年期
【关键词】
:
制作过程
制备方法
护膜
动态进行
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本论文对光罩护膜(Pellicle)的用途、材质、制备方法、制作过程中的一些基本要求以及现今光罩护膜的生产动态进行了简要的综述。
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