【摘 要】
：
介绍了近年来谐振式压力传感器的发展趋势.重点讨论了硅微结构谐振式压力传感器设计与研制中的一些关键技术问题.针对一种以方形硅膜片为一次敏感元件,硅梁谐振子为二次敏感
【机 构】
：
北京航空航天大学自动化学院测控技术与仪器系(北京)
【出 处】
：
2001年全国新型传感器及其应用研讨会
论文部分内容阅读
介绍了近年来谐振式压力传感器的发展趋势.重点讨论了硅微结构谐振式压力传感器设计与研制中的一些关键技术问题.针对一种以方形硅膜片为一次敏感元件,硅梁谐振子为二次敏感元件的压力微传感器,建立了其数学模型、设计了一组敏感结构参数:方形膜边长4mm,膜厚0.1mm;梁谐振子长1.3mm,宽0.08mm,厚0.007mm;方形膜的边界结构部分的内宽度1mm,厚度1mm.讨论了谐振式微传感器的闭环自激系统;建立了微传感器的温度场模型,讨论了其热特性.
其他文献
当代城市发展中,人们都以可持续发展为目标,因此要求城市规划建设实行绿色生态的方式.而从另一个侧面,随着科技的不断进步,使得城市规划设计的绿色理念与建设技术也在不断的
本文介绍2000年在澳大利亚帕斯市举行的国际非开挖技术会议的会议组织情况和同时举办的由世界许多非开挖设备制造商参加的展览会的具体情况.
随着我国经济的快速发展以及时代的不断进步，人们的生活水平得到了极大的提升，同时对于房屋建筑的质量也提出了新的要求，我国的建筑行业也因此得到了极大的发展。但是就其目前阶
本文介绍印度非开挖技术的现状情况.主要介绍印度孟买市采用微型盾构技术和顶管钻进施工地下管道的现状以及现有管道的修复、更换技术水平.
为了增强建筑工程的施工效率，提高施工质量，就需要对施工技术进行必要的优化，将现代化的智能技术引入其中，能够为电力工程的施工质量提供相应的保障。本文从建筑电力工程的实际情
随着我国经济发展水平的不断提高，各行业企业的运行发展也呈现出一片繁荣之势。岩土工程作为建筑等行业进行施工操作的重要基础，加强对岩土工程勘察钻探技术的应用分析，并进行不
本文论述传感器在国民经济、国家可持续发展战略与国防建设的重要作用与地位,介绍传感技术,尤其是红外遥感技术的发展,指出抓住机遇,发展传感器技术的紧迫性.
高层房屋建筑是当前城市的主流标志。然而，高层房屋建筑与普通建筑在技术要求、施工特点以及质量控制等众多方面千差万别，若要保证工程质量，不仅需要通过各种管理手段进行约束，而
现今,资源破坏严重,对生态平衡也造成严重影响,实行产业绿色发展则成为国内建筑行业未来发展的趋势.而暖通空调技术在绿色建筑中发挥重要作用.本文就对暖通空调技术在绿色建
为探测外界物质世界,人们需要传感器.传感器是一种应用器件.信息时代需要网络化传感器,而发展传感器的标准化接口,才能消除大量采用网络化传感器的技术障碍和经济障碍.网络化