电烤盘温度场的有限元分析

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本文介绍了运用有限元法,对电烤盘的热传导进行仿真分析。运用MSC.MARC非线性有限元软件,模拟了电烤盘加热过程和温度场分布,为产品结构的优化改进提供依据。
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