大型离子镀装饰膜镀膜设备与技术的新进展

来源 :2014年广东省真空学会学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wra207
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近些年来国内外对大型离子镀装饰膜的镀膜设备和技术需求日增,这里主要是指不锈钢饰板、大尺寸散件和大装炉量的小散件(如卫洁具)的大型真空镀膜设备和技术,设备订单不断设备性能要求不断提高随之镀膜工艺技术要求也不断提升.其发展趋势是:镀膜设备要求单炉产能再提高,镀膜室尺寸越造越大,生产周期要缩短,能耗要降低,镀层均匀性要提高,镀层颜色要出新色种.这些是对真空镀膜业界新挑战,东莞汇成公司迎接挑战,近几年来进行大型镀膜机的技术开发,为国内外客户研发若干新机型和新工艺,包括扩散泵与罗茨泵的极点应用,调整靶基距提高颜色均匀性,降低Zr电弧源的电流改普膜层质量等。不锈钢板、大尺寸散件、大装炉量的离子镀装筛镀膜产业己形成,设备与工艺都要求不断提高。为稳定生产,提高镀膜的品质,不断创新和优化设备和工艺,引入新技术。
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