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YBCOLAOYBCO三层薄膜的外延生长
YBCOLAOYBCO三层薄膜的外延生长
来源 :第六届全国超导电子器件学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:julykoko
【摘 要】
:
采用标准脉冲激光淀积法,实验研究了LaAlO(LAO)外延薄膜的生长制备技术,在SrTiO(STO)单晶衬底上制备了YBCO/LAO/YBCO三层结构.本文报告了这种多层薄膜制备的初步实验结果并讨
【作 者】
:
聂瑞娟
马平
刘乐园
王永忠
王守证
戴远东
【机 构】
:
人工微结构和介观物理国家重点实验室,北京大学物理系(北京)
【出 处】
:
第六届全国超导电子器件学术会议
【发表日期】
:
2001年7期
【关键词】
:
超导薄膜
外延生长
脉冲激光沉积法
三层结构
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采用标准脉冲激光淀积法,实验研究了LaAlO<,3>(LAO)外延薄膜的生长制备技术,在SrTiO<,3>(STO)单晶衬底上制备了YBCO/LAO/YBCO三层结构.本文报告了这种多层薄膜制备的初步实验结果并讨论了其可能的应用.
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