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介绍了化学气相沉积(CVD)金刚石膜应用于电真空器件夹持杆及输能窗方面的研究进展,以及国外对CVD金刚石封接技术解决方案以及国内CVD金刚石膜金属化及封接方面的研究情况.
CVD金刚石在电真空器件中的应用
【摘 要】
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介绍了化学气相沉积(CVD)金刚石膜应用于电真空器件夹持杆及输能窗方面的研究进展,以及国外对CVD金刚石封接技术解决方案以及国内CVD金刚石膜金属化及封接方面的研究情况.
【机 构】
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北京真空电子技术研究所,北京,100016
【出 处】
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电子陶瓷、陶瓷-金属封接与真空开关管用陶瓷管壳应用研讨会
【发表日期】
：
2009年期
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