纳米颗粒是最重要的纳米材料之一。本文研究了应用原子力显微镜(AFM )测量直径100nm的聚苯乙烯纳米颗粒直径的测量方法。用纳米颗粒球体的顶点与基底间的距离来表征纳米颗粒的直径。原子力显微镜采用悬臂梁上带有极细针尖的原子力探针扫描被测样品表面。悬臂梁的一端连接在由原子力显微镜控制的压电陶瓷上，带有针尖的另一端与被测表面相互作用。当针尖极为接近被测表面时，相互间的作用力引起悬臂梁的弯曲，并可导致反射在悬臂梁背面的激光光束的偏转，四象限光电接收器可以直接检测光束的偏转。本文详细论述了颗粒样品的制备方法，以及原子力显微镜参数的设置和测量经验。最终测得理想的颗粒结果。采用SPIP软件的粒子分析模块分析测得的颗粒图像中的颗粒直径。至少100个颗粒被分析并统计，用于计算颗粒标准物质的粒径，最终获得100nm颗粒的直径的测量结果。