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本文主要介绍了一种MIS结构在外加脉冲电压时从深耗尽态恢复到平衡态时栅电极上电荷与时间的关系来求得衬底的少了寿命的方法。本文从基本物理图像出发,介绍了该方法的基本理论依据,然后用MEDICI对该方法进行了验证,证明其能够得到比较精确的少子寿命。最后,给出了一种在实际便于芯片级测试的测试结构。