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会议论文
单晶硅生产用石英坩埚原料
单晶硅生产用石英坩埚原料
来源 :第三届高新技术用石英制品及相关材料技术与市场研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sxuuboo
【摘 要】
:
本文论述了单晶硅对石英坩埚的要求,又论述了石英坩埚对原料的要求,探讨了中国石英原料的生产发展现状,最后探讨了石英坩埚原料的种类和生产方法以及发展趋势。
【作 者】
:
金小宁
洪璐
【机 构】
:
东海县金孚石英制品厂
【出 处】
:
第三届高新技术用石英制品及相关材料技术与市场研讨会
【发表日期】
:
2005年9期
【关键词】
:
单晶硅
石英坩埚
原料种类
生产方法
发展趋势
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本文论述了单晶硅对石英坩埚的要求,又论述了石英坩埚对原料的要求,探讨了中国石英原料的生产发展现状,最后探讨了石英坩埚原料的种类和生产方法以及发展趋势。
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