电子级磷酸属于专用精细化学品,是用于电子行业的高纯磷酸。本文采用冷却结晶法净化磷酸来制备电子级磷酸,对半水磷酸冷却结晶过程进行了系统理论分析和实验研究研究。电子级磷酸的传统生产方法是三氯氧磷法,需要首先用电炉法生产黄磷,然后氯氧化制备三氯氧磷,再精制三氯氧磷,最后水合得到电子级磷酸产品。或对黄磷进行提纯制得高纯黄磷,再水合制得电子级磷酸,这些方法工艺流程长、能耗高、有毒、污染严重,生产成本高。结晶是指固体物质以晶体状态从蒸汽、溶剂或熔融物系中析出的过程,是一个复杂的多相、多组份的传热、传质和表面反应过程。工业结晶技术,作为一种高效、低能耗、低污染、所得产品纯度高的制造和分离、提取、净化技术,控制固体特定物理形态的手段,已成为固体产品生产和产物提纯的关键单元操作之一。作者以湿法磷酸净化后的工业级磷酸或食品级磷酸为原料,用冷却结晶方法精制磷酸,来制备电子级磷酸。在实验室研究、中试放大研究成果的基础上,最终建立了1000t/a的结晶法制电子级磷酸的工业示范装置。该装置生产的电子级磷酸中的w (H3PO4)含量≥85％；产品电子级磷酸的质量,自检达到了SEMI gradeⅡ,而外检则达到的SEMI gradeⅢ质量标准的要求。