氮氣和氨氣摻質成長的MWCVD鑽石不同的特性及成長機制比較

来源 :2015第十一届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:phf
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至今以微波化學氣相沉積法(MWCVD)合成n型鑽石是困難的,氮原子與碳原子在鑽石晶格內有類似的大小,可摻質進鑽石成長成n型鑽石.然不同的摻質源及製程顯示以氮氣和以氨氣摻質成長的鑽石有顯著不同的特性.
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