针对当前薄膜太阳电池对光管理的迫切需求,本文采用磁控溅射及后腐蚀技术制备获得了高性能绒面铝掺杂氧化锌前电极.深入分析了氧化锌多晶薄膜厚度及腐蚀时间对绒面结构及陷光特性的影响.研究结果表明,随多晶薄膜厚度的增加,晶粒尺寸增大,腐蚀后获得的弹坑状表面结构的粒径亦随之增大,绒度增大；随后腐蚀时间的增加,弹坑状粒径及绒度均具有先增大而后趋于饱和的趋势.当沉积氧化锌多晶薄膜初始厚度达2μm 时,获得的薄膜电阻率小于3×10-4 Ωcm,经180s 稀盐酸(0.5 ％)腐蚀后,绒面氧化锌的均方根粗糙度达143 nm,400-1100 nm 平均透过率达81.4％,在500 nm 处绒度为84.3％,750 nm 处绒度可达73.8％,方块电阻小于5 Ω/sq,满足了硅基薄膜叠层电池对前电极的光电性能需求.