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可控滑移转移晶圆级尺寸石墨烯
可控滑移转移晶圆级尺寸石墨烯
来源 :中国化学会第30届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:youwdw
【摘 要】
:
化学气相沉积(CVD)法在金属基底上生长大面积、高质量石墨烯已得到了研究者们的证实,因此,石墨烯的转移便成为了其最终投入工业应用的决速步。然而,固态金属基底的多晶性及
【作 者】
:
曾梦琪
谭丽芳
张涛
付磊
【机 构】
:
武汉大学化学与分子科学学院,湖北省武汉市武昌区八一路299号,430072
【出 处】
:
中国化学会第30届学术年会
【发表日期】
:
2016年期
【关键词】
:
滑移
晶圆级
金属基底
化学气相沉积
微观粗糙度
石墨
工业应用
研究者
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化学气相沉积(CVD)法在金属基底上生长大面积、高质量石墨烯已得到了研究者们的证实,因此,石墨烯的转移便成为了其最终投入工业应用的决速步。然而,固态金属基底的多晶性及微观粗糙度意味着所报道的转移方法都无法避免缺陷、褶皱及污染的产生。
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