超晶格光电薄膜自适应焦平面红外成像

来源 :中国工程院化工、冶金与材料工程第十届学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yq_ma
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  近年来光读出红外成像技术已发展为非制冷光读出红外成像系统,并广泛应用于安全保卫24小时连续监控系统。这种成像系统设计要求综合考虑感光性和响应时间及热传导率,本文阐明了光读出成像的基本原理和光读出的优越性。如避免了矩阵寻址方案布局的复杂性,限制了光读出集成电路的寄生热,像元和衬底之间电接触减少限制了热泄漏途径,它们具有可直接测量性,阵列可达到2000X2000,同时阐明了光读出非制冷红外成像系统的组成部分和主要特性,研究并深人分析了双波段自适应焦平面阵列和多光谱调谐红外探测器的结构,以及自适应焦平面阵列制作工艺,直至形成像敏阵列,像元的波长灵敏度可以各自独立的自由调整,成为一个大画面可编程的电子微型光谱仪。在此基础上,便可使IR焦平面阵列(FPAs)实现调节它们的光谱响应与敏感元件的适时要求相匹配,从而有力地支撑未来多光谱红外成像系统的发展。
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