Study Of Microvias Fabrication On AlN Substrates By Using A Femtosecond Laser

来源 :2015台湾物理年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hongyin_wangyi

【摘要】

：

　　High thermal conductivity and high electrical resistivity of ceramics make them ideal interposer materials for three-dimensional integrated circuits.

【作者】

：

朱慧心曾雅欣曾勝陽羅志偉郭養國姜智豪王智

【机构】

：

電子物理系,國立交通大學,新竹市,Taiwan

【出处】

：

2015台湾物理年会

【发表日期】

：

2015年期

【关键词】

：

Femtosecond Laser AlN

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　　High thermal conductivity and high electrical resistivity of ceramics make them ideal interposer materials for three-dimensional integrated circuits.

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