一种基于对称结构的材料放气率测量装置

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为了提高材料放气率的测量效率和测量小于10-8Pam3/s的放气量,在原有基础上优化设计出一种基于对称结构的新型材料放气率测量装置。装置采用对称结构的四个相同耐高温特殊材料真空管作为样品室(体积小于0.5L),与不锈钢材料制成的样品室相比,一方面将样品室自身的放气率降低了34个量级,为延伸装置测量下限提供了更低的本底放气条件,另一方面可将样品的加热温度范围拓展到40℃1100℃。装置通过累积比较法可相对或绝对测量样品的放气率,相对测量法是在样品室中(最多4个样品室)放置被测量样品,通过同一台真空计测量累积条件下在一定时间内放气引起压力的变化,得到被测量材料放气率的相对大小。绝对测量是采用高精度流量计提供可变的气体流量作为参考标准,并用一个空载样品室作为本底放气的参考,另外3个样品室放置被测量样品,用同一台真空计分别测量放置样品的样品室、标准气体流量引入的空载样品室在累积条件下压力随时间的变化,通过比较得到被测样品的绝对放气率。为了提高样品实际加热温度的测量精度,通过测量并绘制样品室内外不同位置的温度梯度关系,在实际测量中根据温度传感器的读数与放置的位置、温度梯度分布修正得到样品的实际温度。因此,优化设计的材料放气率测量装置具有以下几个方面的优点:1)可同时相对测量4种材料放气率或绝对测量3种材料放气率,从而提高了装置的测量效率;2)装置可在40℃1100℃较宽温度范围内实现高精度加热样品,满足目前绝大多数样品的加热需求;3)采用的特殊材料样品室和累积的测量方法,达到的测量范围为10-810-11Pam3/s(当样品表面积为0.4m2[1],放气率测量下限可达2.5×10-15Pam3/(s·cm2)),解决了不锈钢、玻璃、云母、吸气剂材料等低放气率的测量问题;4)首次采用流量计提供标准气体流量通过比较的方法测量材料放气率,相对于其他方法提高了测量结果的准确性。
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