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电子碰撞离子源的聚焦和离子引出效率对其工作性能有着重要影响.本文采用SIMION-3D8.0软件建立了一种电子碰撞型离子源模型，计算了离子的运动轨迹，采用相空间分析方法，得到静电透镜聚焦处离子的位置聚焦半径和速度聚焦半径，分析了离子源各参数对聚焦和离子引出效率的影响.研究结果表明当S和α狭缝分别加负偏压时，离子束在运动过程中能够两次聚焦，从而得到很好的聚焦性能和引出效率，本文为离子源优化设计提供重要的理论依据和实验指导.