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在现代集成电路测试中，漏电流是一项很重要的指标，基于漏电流故障的模型可以快速发现CMOS制造工艺的缺陷。木文首先介绍了漏电流故障模型的特点，阐述了基于漏电流故障模型对集成电路进行漏电流测试的测试原理、测试集生成及测试方法。在此基础上，系统研究了电路静态漏电流、输入漏电流、输出高阻漏电流的测试方法。