【摘 要】
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本文通过改进热光开关单元和全内反射镜,设计和制作了基于SOI材料的8×8阻塞型热光开关矩阵.开关设计中,在单模波导和多模干涉耦合器之间引入楔形连接波导并进行优化,增大单
【机 构】
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中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京市912信箱,100083
【出 处】
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第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
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本文通过改进热光开关单元和全内反射镜,设计和制作了基于SOI材料的8×8阻塞型热光开关矩阵.开关设计中,在单模波导和多模干涉耦合器之间引入楔形连接波导并进行优化,增大单模波导与多模波导之间的藕合效率,减小开关单元的损耗.此外,采用自对准方法提高全内反射镜的光刻容差.开关矩阵各端口的平均插入损耗约为21 dB,单个反射镜引起的附加损耗约为1.4 dB,串扰少于-21 dB.实验结果说明新设计改善了开关器件的整体特性,且与理论分析一致.
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