【摘 要】
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本文对于V型梁结构微执行器,理论研究表明V型梁的长度、宽度、厚度和初始偏置角度等几何参数对微执行器的性能存在直接影响.在结构参数优化的基础上,本文采用DRIE技术在SOI硅
【机 构】
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中国航天时代电子公司研究院,北京,100084
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
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本文对于V型梁结构微执行器,理论研究表明V型梁的长度、宽度、厚度和初始偏置角度等几何参数对微执行器的性能存在直接影响.在结构参数优化的基础上,本文采用DRIE技术在SOI硅片上制作出V型梁微执行器.试验结果表明,优化后的V型梁并联5梁阵列,在直流电压的驱动下能提供90mN执行力,同时还能输出5.6μm的直线位移,具有体积小,执行力大,结构简单,容易控制等特点.
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